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硅基MEMS制造技术
著者：王跃林
出版社： 电子工业出版社
発売日： 2025年03月28日
随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS……続きを見る
価格：2,351円

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