真空 - 科学・医学・技術 1

走査電子顕微鏡（SEM）は、電子線で試料表面を走査することで、試料表面形状だけではなく、試料の元素組成や結晶方位、化学結合状態など、さまざまな情報を得られる手法であり、多様な試料の観察・分析に広く用い……続きを見る

分かりやすく・実際的で役に立つ、透過電子顕微鏡（TEM）のテキストの改訂版。1999年刊行の初版『表面分析技術選書 透過型電子顕微鏡』出版以降に見られた結像装置や観察モードの進歩を踏まえ、内容を全面的に刷新……続きを見る

試料表面の組成・構造や電子物性に関する多彩な情報を引き出すことができるX線光電子分光法（XPS）は、表面分析の代表的な実験手法の一つである。本書では、XPSについての基礎的・理論的な解説から、試料調製法や……続きを見る

二次イオン質量分析法（SIMS）は、試料表面にイオンビームを照射し、飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し、さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である。金属や半導体から高分子材料……続きを見る

走査プローブ顕微鏡（SPM）は、nmレベルに細く尖らせた探針（プローブ）を試料表面に沿って走査させ、試料表面からしみ出す物理量を計測することで、その形状や性質を観察する手法である。近年、SPM技術の進展によ……続きを見る