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後處理對於無鉛鈮酸鈉コウ薄膜特性之影響應用於非揮發性鐵電記憶體之研究
著者：蘇志文
出版社： 蘇志文
発売日： 2022年08月05日
本論文利用溶膠凝膠法在鍍有Pt下電極之矽基板上成長無鉛非當量鈮酸鈉コウ薄膜(NKN-based)，透過不同RTA退火溫度及高溫爐溫度調控，搭配XRD、XRR、SEM、XPS、J-E、εr、tanδ、室溫P-E及變溫P-E等量測，試圖找出較有……続きを見る
価格：2,339円

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